【城事】计量纳米，精确到皮米（1000皮米=1纳米）

2026年7月8日，城事2025年度国家科学技术奖励大会隆重召开，计量精确上海共有68项成果及人选斩获国家科技奖。纳米其中，到皮由同济大学牵头研发的米皮米纳米《量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用》项目，凭借其在基础计量领域的城事突破性贡献，荣膺国家科技进步一等奖。计量精确

同济大学精密光学工程技术研究所光学纳米计量与测试实验室，纳米程鑫彬教授团队20余年铸就“纳米标尺”。到皮

同济大学科研人员根据需要自行制造实验设备，米皮米纳米利用基于量子化光晶格常数制造纳米标尺的城事精密装置开展“纳米标尺”研究。

针对我国在纳米计量领域长期面临的计量精确核心技术瓶颈，程鑫彬教授团队历经20余年的纳米深耕与创新，成功研制出纳米长度与角度的到皮国家级标准物质。这一成果犹如为芯片行业打造了一把高精度的米皮米纳米“标准标尺”，为纳米生产设备的校准提供了不可或缺的核心依据。

实验团队攻克的二维铬纳米栅格标准物质，获得国家一级标准物质认证。

团队成功研制晶圆级标准片并获批多项国家二级标准物质认证。

量子化光晶格常数嵌入的光栅干涉型纳米位移传感器。它既是精密设备的 “位移感知眼睛”，也是可嵌入设备内部、自带法定计量基准的便携式纳米校准标尺，打通了实验室计量标准与芯片产线现场应用。

项目团队巧妙利用了原子量子跃迁的稳定特性，打造出皮米精确度的精密“标尺”，制造出一系列纳米级长度和角度国家标准物质，为集成电路等先进纳米制造的发展提供了有力支撑。

项目团队面向以集成电路为代表的先进纳米制造产业对“扁平化、嵌入式、小型化”等现场计量需求，创建了基于量子化光晶格常数的纳米计量技术与标准物质制造装置，实现了产业现场一步校准、直接溯源，推动纳米计量量值传递扁平化。

项目团队支撑同济大学牵头筹建“国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）”，为我国集成电路等纳米制造领域提供了智力支持。

针对我国纳米计量领域存在的核心问题，团队研制出5项国家一级标准物质、直接溯源型计量仪器和晶圆级标准片，建立了具有完全自主知识产权的扁平化纳米计量技术，为集成电路等纳米制造领域提供了校准与标定用的“精准标尺”。

原标题：《【城事】计量纳米，精确到皮米（1000皮米=1纳米）》

(责任编辑：时尚)