二十余年铸就“纳米标尺” ！这个国家科学技术进步奖项目相关平台落地松江

7月8日，纳米标尺2025年度国家科学技术奖正式揭晓。余年由同济大学牵头，国家关平联合多家单位共同完成的科学“量子化光晶格常数的纳米计量关键技术及集成电路应用”项目，荣膺国家科学技术进步奖一等奖。技术进步奖项江这一殊荣标志着该项历经二十余年攻关、目相贯通基础原理、台落计量标准与产业应用的地松重大科研成果，正加速从实验室走向集成电路产业一线。纳米标尺

该项目由同济大学、余年上海御微半导体技术有限公司、国家关平中国计量科学研究院、科学桂林电子科技大学、技术进步奖项江上海市计量测试技术研究院共同完成。目相目前，台落依托该技术构建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海），作为同济大学长三角G60科创走廊研究院的首发重点项目，已正式落地松江。该平台将依托松江大学城科创源，加速科技成果与产业需求的精准对接。

项目荣获国家科学技术进步奖一等奖

将自然常数转化为实物“标尺”

计量学的核心不仅在于测量物体的尺寸，更在于确保测量结果的准确性、可追溯性以及统一性。对于集成电路等先进纳米制造领域而言，“测得准”是“造得精”的前提。

传统直尺刻度可通过机械加工形成，但纳米级标尺的刻度如何长期保持高精度？项目团队创新性地利用光频梳技术，将激光频率锁定至铬原子量子跃迁频率。两束相向传播的激光叠加形成周期恒定的驻波光场，即“量子化光晶格”，宛如一副由光构建的精密“模具”。经激光冷却的铬原子在光场中有序沉积，在基底上形成纳米级刻线。

基于量子化光晶格常数的纳米标尺高精度制造技术

通俗而言，这些纳米刻度并非由刀具物理切削而成，而是原子依据自然常数确定的间距自动排列形成。相比传统机械加工易受刀具磨损和环境波动影响，基于自然常数的纳米刻度具备极高的稳定性和一致性。

项目团队负责人指出，二十余年的攻关难点在于将量子化的自然常数稳定转化为可实际使用的实物标准，需同时满足长期稳定性、样品间一致性以及制造、定值、应用等多重严苛检验。

目前，团队研制的系列光栅中已有5项获批国家一级标准物质，纳米长度标准物质的三年长期稳定性和样品间一致性均达到皮米量级（1皮米=0.001纳米）；此外，团队还研制出我国首个纳米级角度国家一级标准物质。标准物质作为特性值经严格确定的实物标准，相当于纳米制造领域权威认可的“标准尺”。

让“米”的定义直达生产线

制造高精度“尺子”仅是第一步，更难的是将其便捷、可靠地引入产业现场。

传统纳米计量依赖多级量值传递，如同复杂的“接力赛”，环节越多，不确定度控制越难。项目研发的量子化纳米标尺具备复现“米”定义的功能，能够缩短量值传递链，实现产业现场的一步校准、直接溯源。

团队还将该技术应用于晶圆级标准片的研制。其作用 akin to 秤的“标准砝码”：集成电路量测设备通过测量参数已知的标准片，即可判断读数准确性并完成校准。

基于量子化光晶格常数制造纳米标尺的精密装置

围绕标准片的制造、定值与应用，团队构建了涵盖线宽、膜厚、定位、缺陷等关键参量的系列标准物质。相关晶圆级标准片获批国家二级标准物质，并已在国产集成电路量测和检测设备企业中实现应用。2025年，“集成电路纳米计量标准片关键技术”入选工业和信息化部第一批先进适用技术名单。

团队成功研制晶圆级标准片并获批多项国家二级标准物质

从国家一级标准物质、现场计量技术到晶圆级标准片及企业应用，项目成功打通了纳米计量成果进入先进制造现场的技术链条。此次获奖，不仅体现了单项实验指标的突破，更彰显了整套技术体系从原理创新走向产业应用的巨大价值。

在松江打通创新链与产业链

2024年1月，经国家市场监督管理总局批准，由同济大学为主体、张江实验室联合启动筹建的国家集成电路微纳检测设备产业计量测试中心（上海）正式成立。同年10月30日，该中心正式落地松江，进驻科大智能产业园。

国家级平台落户松江，并非简单的科研空间转移。松江正构建以新一代信息技术、高端装备为主导的“2+4”现代化产业体系，集成电路产业已覆盖设计、制造、封测、材料及设备全链条，仪器仪表产业亦集聚了大量上下游企业。完善的产业基础既产生了迫切的计量需求，也为技术验证、标准物质研制和成果转化提供了广阔场景。

“成熟一个，引进一个，构建‘企业出题目、同济有学科、园区有产线、G60有场景’的新型创新联合体。”G60创新研究中心主任贾占锋表示，研究院将通过“揭榜挂帅”、联合研究等机制，完善从同济大学到研究院的项目引入流程。

依托松江大学城科创源，研究院将进一步整合高校学科人才、企业技术需求及园区应用场景，推动纳米计量技术在松江开展研发、中试和测试服务。借助G60科创走廊产学研协同机制，加速成果转化与产业应用。

根据建设规划，中心将立足松江、辐射长三角，面向国产集成电路和精密仪器仪表企业，重点推进研发、中试和测试服务平台建设。区校双方将联动松江大学城科创源与G60科创走廊产业需求，推进标准物质研制、设备校准、中试验证和成果转化，提升高水平科技成果服务先进制造业的能力，助力长三角一体化发展及上海（长三角）国际科创中心建设。

原标题：《二十余年铸就“纳米标尺” ！这个国家科学技术进步奖项目相关平台落地松江》

(责任编辑：综合)